简介： 本发明涉及一种激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱成像方法与装置，属于共焦显微成像、质谱成像及光谱测量技术领域。本发明将差动共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合，利用高空间分辨差动共焦系统对样品进行轴向定焦与成像，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用光谱探测系统对差动共焦显微系统聚焦光斑激发光谱(拉曼光谱、诱导击穿光谱)进行微区光谱探测，实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明实现激光多谱(质谱、拉曼光谱和激光诱导击穿光谱)组分成像探测的优势互补和结构功能融合，在生物、材料、物理化学、微纳制造等领域有广泛的应用前景。