简介： 本发明属于材料测试领域，具体为一种可定位薄区位置的透射电镜样品制备装置和方法。包括电化学反应单元，原位观察单元，样品安装单元，抛光定位单元，图像采集单元和控制系统；电化学反应单元采用阴极抛光针对与阳极连接的样品的电解抛光；原位观察单元用于观察样品的侧面和正面，确定并定位阴极抛光针相对样品表面的距离；试样安装单元用于安装样品，并调节样品的位置；抛光定位单元用于调节阴极抛光针相对于样品表面的位置和距离；图像采集单元用于采集样品的实时图像并显示于控制系统。本发明具有在局部电解抛光过程中不会引入离子注入的特点，可以实现对于需要抛光区域进行精准定位等优点，为微尺度样品的结构表征提供新的样品制备方法。