简介： 本发明涉及一种自动决定反应炉管的清洁过程终点的方法,其适用于低压化学气相沉积机台。本发明的方法为,将清洁气体导入反应炉管中,使清洁气体在特定温度下产生化学反应。然后,连续量测反应炉管的多个位置的温度。接着,监控上述位置其中之一的温度变化,直至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。继而,监控全部的上述位置的温度变化,至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。接着,进行一段时间的过蚀刻步骤,即停止反应炉管的清洁过程。