简介： 本发明涉及的一种高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法，它包括以下内容：N型硅衬底进行制绒、清洗处理；通过PECVD制备双面本征非晶硅层；选取N型非晶硅膜为受光面掺杂层，使用等离子体增强化学气相沉积制备N型非晶硅掺杂层；使用等离子体化学气相沉积制备P型非晶硅掺杂层；使用RPD方法沉积TCO导电膜，镀膜时工艺腔内通入固定流量的Ar、H₂混合气体；通过丝网印刷形成正背面Ag电极；固化使得银栅线与TCO导电膜之间形成良好的欧姆接触；进行测试电池的电性能。本发明提升载流子迁移率与透光性、降低方租，进而提高电池的电流及填充因子，进而提高电池的电性能。