带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用
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带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用
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简介: 本发明涉及辐射探测技术领域,具体涉及一种带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用。本发明提供的带有多层反射膜的闪烁体阵列的制备方法,包括以下步骤:在原位制备的闪烁体阵列表面沉积高反膜,得到带有多层反射膜的闪烁体阵列;所述沉积的方法包括原子层沉积法、物理气相沉积法和化学气相沉积法中的一种或几种。本发明通过采用原子层沉积法、物理气相沉积法或化学气相沉积法在闪烁体阵列的表面沉积高反膜,能够同时对闪烁体阵列中的所有闪烁体条进行镀膜,无需对每个闪烁体条单独镀膜,能够节省制造成本,提高生产效率,且能够适应小尺寸的闪烁体阵列。
本发明涉及辐射探测技术领域,具体涉及一种带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用。本发明提供的带有多层反射膜的闪烁体阵列的制备方法,包括以下步骤:在原位制备的闪烁体阵列表面沉积高反膜,得到带有多层反射膜的闪烁体阵列;所述沉积的方法包括原子层沉积法、物理气相沉积法和化学气相沉积法中的一种或几种。本发明通过采用原子层沉积法、物理气相沉积法或化学气相沉积法在闪烁体阵列的表面沉积高反膜,能够同时对闪烁体阵列中的所有闪烁体条进行镀膜,无需对每个闪烁体条单独镀膜,能够节省制造成本,提高生产效率,且能够适应小尺寸的闪烁体阵列。
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标签:化学分析
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