简介： 本发明提供了一种磷化铟晶片的表面处理方法，包括以下步骤：a)将抛光、化蜡后的磷化铟晶片采用混合药液进行过药处理，得到处理后晶片；所述混合药液由氧化剂溶液、酸溶液和水配制而成；b)将步骤a)得到的处理后晶片依次经冲水、甩干，得到清洗检验前的磷化铟晶片。与现有技术相比，本发明提供的磷化铟晶片的表面处理方法是出现在磷化铟晶片清洗检验前的一个重要工艺，该表面处理方法操作简便、效率高；处理后的晶片表面粗糙度会更好，产品良率更高；并且所使用的混合药液中各成分均为常见无机化学品，成本低；因此本发明提供的磷化铟晶片的表面处理方法具有广阔的应用前景。