钛材质坩埚的洗净再生方法
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钛材质坩埚的洗净再生方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种钛材质坩埚的洗净再生方法,涉及OLED面板生产技术领域,本发明包括如下步骤:受入检查:对钛材质坩埚本体进行完整性检查,确定膜层残余量;化学药水浸泡处理;纯水冲洗清理:使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体,去除坩埚表面浮灰和杂质;预干燥处理:使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面,去除表面水分,放入干燥箱中干燥;高温烘烤处理:对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理;纯水浸泡作业:将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡;烘干包装:将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用,具有有效清理坩埚残膜同时降低坩埚损耗的优点。
本发明公开了一种钛材质坩埚的洗净再生方法,涉及OLED面板生产技术领域,本发明包括如下步骤:受入检查:对钛材质坩埚本体进行完整性检查,确定膜层残余量;化学药水浸泡处理;纯水冲洗清理:使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体,去除坩埚表面浮灰和杂质;预干燥处理:使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面,去除表面水分,放入干燥箱中干燥;高温烘烤处理:对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理;纯水浸泡作业:将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡;烘干包装:将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用,具有有效清理坩埚残膜同时降低坩埚损耗的优点。
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标签:化学分析
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