喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺
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喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺,具体包括以下步骤:S1:原材:对原材料进行清洗并干燥;S2:涂胶:在材料表面涂装或者封装感光类薄膜;S3:光刻:在材料表面光刻出需要砂刻的微流控通道图形;S4:观影:经过图形现影法,露出原材料的表面;S5:喷砂:将材料用治具定位装夹在喷砂机上进行喷砂;S6:检验:对喷砂完成后的材料进行检验是否合格。本发明公开的喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺具有安全环保,以砂粒取代剧毒、有毒化学物质,喷射蚀刻取代传统药水浸泡蚀刻的方式,更加安全环保,并且成本交底,且具备量产性,在密闭的工作腔内,可快速批量加工出微流控图形的技术效果。
本发明公开了一种喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺,具体包括以下步骤:S1:原材:对原材料进行清洗并干燥;S2:涂胶:在材料表面涂装或者封装感光类薄膜;S3:光刻:在材料表面光刻出需要砂刻的微流控通道图形;S4:观影:经过图形现影法,露出原材料的表面;S5:喷砂:将材料用治具定位装夹在喷砂机上进行喷砂;S6:检验:对喷砂完成后的材料进行检验是否合格。本发明公开的喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺具有安全环保,以砂粒取代剧毒、有毒化学物质,喷射蚀刻取代传统药水浸泡蚀刻的方式,更加安全环保,并且成本交底,且具备量产性,在密闭的工作腔内,可快速批量加工出微流控图形的技术效果。
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标签:化学分析
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