简介： 本发明提供一种洁净容器干燥装置,包括洁净烘箱和置于洁净烘箱中的洁净容器罐,洁净容器罐连接抽烘管路,抽烘管路连接至置换气体管路,抽烘管路上还连接有检漏仪和冷阱,冷阱通过管路连接真空泵的进口。抽烘管路可根据容器罐接口要求进行转接,可对高漏率要求的容器罐检漏,操作在一个完全密闭的洁净条件下进行,对洁净度要求高的容器罐干燥过程中不会产生污染,实现了烘干与换气的一体化,节约了时间,提高了高纯危险化学品的储存环境,大大缩短了烘干与换气周期。