简介： 一种增强过程和轮廓模拟器算法的方法,其可预测一个特定等离子过程将生成的表面轮廓。首先,高能粒子被跟踪,然后,这种高能粒子产生的离子通量被记录下来。根据同时求解的中性通量、表面化学覆盖和表面材料类型便可计算出局部刻蚀速率和局部堆积速率。