简介： 本发明涉及一种集成硅膜热流量传感器及其制造方法,该传感器的特点是采用隔热作用的硅膜,硅膜悬在将硅片局部挖空而形成的空腔上,并由腔体壁所支撑,用作加热器的硅电阻器和热探测器的Si/Al热偶堆分别制作在硅膜上。硅膜是采用扩散或离子注入、硅外延、阳极氧化、腐蚀多孔硅、物理或化学气相淀积绝缘介质等技术制备的。本方法制作的器件,灵敏度高,响应速度快且有利于集成、降低成本和大批量生产。