简介:
本发明公开了一种具有优异屏蔽性能(光阻性能)以及在黑度和氧化稳定性方面同样优异的氮氧化钛。具体而言,公开了一种氮氧化钛,其具有TiNxOy·nSiO2(其中Ti表示钛原子;N表示氮原子;O表示氧原子;Si表示硅原子;x表示氮原子与钛原子的比例,y表示氧原子与钛原子的比例,x和y分别为大于0且小于2的实数;n表示SiO2与TiNxOy的摩尔比,是0≤n≤0.05的实数)表示的化学组成。所述氮氧化钛包含以N表示的氮原子的量不小于17重量%但小于23重量%,同时具有的比表面积为5-30m2/g,且通过使用X-射线衍射仪测定的微晶尺寸为17-25nm。
本发明公开了一种具有优异屏蔽性能(光阻性能)以及在黑度和氧化稳定性方面同样优异的氮氧化钛。具体而言,公开了一种氮氧化钛,其具有TiNxOy·nSiO2(其中Ti表示钛原子;N表示氮原子;O表示氧原子;Si表示硅原子;x表示氮原子与钛原子的比例,y表示氧原子与钛原子的比例,x和y分别为大于0且小于2的实数;n表示SiO2与TiNxOy的摩尔比,是0≤n≤0.05的实数)表示的化学组成。所述氮氧化钛包含以N表示的氮原子的量不小于17重量%但小于23重量%,同时具有的比表面积为5-30m2/g,且通过使用X-射线衍射仪测定的微晶尺寸为17-25nm。