简介： 本发明属材料的表面物理化学领域,涉及一种具有光催化性能的ZnO纳米复合结构薄膜材料的制备方法。现有简单的纳米结构薄膜材料光催化效率低、对尺度要求较苛刻。本发明其特征在于,包括以下步骤:用热气相沉积方法的常规工艺在基底上沉积一层ZnO薄膜,所通氧气流量500～3000sccm,并控制ZnO结晶在100纳米～2微米的尺度范围;向沉积室中充入含氮气体,控制含氮气体流量在50～500sccm范围,基底温度在750℃～1000℃的范围,生长时间控制在2～30分钟。本发明制备的具有p-n结的ZnO纳米复合结构光催化薄膜进行了测试,紫外光照射60分钟的光催化效率在78%以上。该纳米结构薄膜适用于对废水和废气中的有害物质的光催化处理。