简介： 本发明公开了一种基于Li3PO4?Li4SiO4混合固体电解质的电势型气体传感器及其制备方法，在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作膜式Pt电阻测温电极和Pt加热电极，在Al2O3陶瓷基底的抛光面通过电子束蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4?Li4SiO4混合固体电解质薄膜，采用磁控溅射方法沉积电极Au薄膜，并在一个电极Au薄膜表面印刷化学材料，最终形成固体电解质的电势型气体传感器。所述传感器使用一种Li3PO4?Li4SiO4混合固体电解质层，其离子导电性在较低温度下就能达到Li3PO4固体电解质在较高温度时的水平；并设计了闭环温控系统，实现了降低传感器工作温度、降低功耗、加快响应速率、加强输出稳定性、时控制并输出等多方面功能的改善。