简介： 本发明公布了一种集成片上原位微型银氯化银参比电极以及其制备方法。该片上原位微型银氯化银参比电极包括：硅基衬底，在硅基衬底结构上生长的绝缘层，溅射的金属种子层，电化学电镀的银层，以及腐蚀得到的氯化银层，滴涂法得到的保护层涂层。本发明实现的片上原位微型银氯化银参比电极和传统微机电加工工艺方法高度兼容。和商用的银氯化银参比的电极相比，具有高度集成化，微型化，应用场景多样化等优势。在生物监测和化学传感领域，能够广泛应用于生物体内实时精准电位标定，并且植入后造成较小的植入损伤。该片上原位微型银氯化银参比电极在脑科学或生物活体监测方面具有广泛的应用价值。