简介： 一种AlZnO紫外光电阴极材料及其紫外真空光电管,属于电子材料与元器件技术领域。所述AlZnO紫外光电阴极材料,包括衬底基片、沉积于衬底基片表面的金属底电极和沉积于衬底金属底电极表面的AlZnO合金薄膜;所述AlZnO合金薄膜的化学式为AlxZn1-xO1+0.5x,其中0.2≤x≤0.7。所述紫外真空光电管,包括真空封装的所述AlZnO紫外光电阴极和阳极。本发明提供的AlZnO紫外光电阴极材料及其紫外真空光电管,将化学组成为AlxZn1-xO1+0.5x(0.2≤x≤0.7)的三元合金薄膜作为紫外光电阴极材料,其光学吸收边可蓝移至300nm以内,能够满足紫外光日盲区探测要求,且具有制备方法简单、成本较低、无毒环保的特点。本发明可广泛应用于紫外探测技术领域。