简介： 一种多晶化学气相沉积(CVD)金刚石晶片包括：等于或大于125mm的最大线性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室温下(标称298K)在多晶CVD金刚石晶片的至少中心区域上测量的以下特性中的一个或两个，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶片的中心点为中心，并且所述中心区域的直径是多晶CVD金刚石晶片的最大线性尺寸的至少70％：在10.6μm处，吸收系数≤0.2cm-1；以及在145GHz时介电损耗系数为tanδ≤2×10-4。