简介： 本发明公开了一种用于氮化铝籽晶的加工工艺，采用X射线对氮化铝籽晶进行晶向测定，测量精度高；采用金刚石线进行切割，能够克服氮化铝材料由于硬度及脆性较大给切割带来的困难；采用研磨工艺，可以有效去除切割后氮化铝材料的表面损伤；采用机械抛光工艺，可以保证氮化铝材料具有较高的表面质量；采用化学机械抛光工艺，同时通过物理作用与化学作用，可以在机械抛光的基础上进一步提高氮化铝籽晶的表面质量；采用有机溶剂进行清洗，可以防止酸碱或离子水对氮化铝籽晶表面的轻微腐蚀。该加工工艺使制得的氮化铝籽晶具有优异的翘曲度、总厚度变化及表面粗糙度，完全能够满足外延生长的需要，能够长出尺寸较大、质量较好的氮化铝晶体。