具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法
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具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,该方法是采用化学溶液沉积法:溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成,配制成0.1-0.3M的前驱体溶液;采用旋转镀膜方式得到凝胶膜,然后在快速退火中分段进行热处理,形成薄膜材料;重复该过程,直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明的优点是:整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明方法在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si基片上得到的薄膜,经测量不施加偏场时的热释电系数可达1.6×10-8Ccm-2K-1。
本发明公开了一种具有自极化效应的铌镁酸-钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,该方法是采用化学溶液沉积法:溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成,配制成0.1-0.3M的前驱体溶液;采用旋转镀膜方式得到凝胶膜,然后在快速退火中分段进行热处理,形成薄膜材料;重复该过程,直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明的优点是:整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明方法在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si基片上得到的薄膜,经测量不施加偏场时的热释电系数可达1.6×10-8Ccm-2K-1。
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标签:化学分析
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