简介： 本发明公开了一种制绒/刻蚀废液的循环利用方法,含以下步骤:(1)测试制绒/刻蚀废液中H2SiF6的浓度,根据计量比加入化学试剂与H2SiF6反应生成氟硅酸盐沉淀,过滤回收氟硅酸盐沉淀;(2)取滤液测试其中亚硝酸和/或氮氧化物的浓度,加入氧化剂将亚硝酸和/或氮氧化物转化为硝酸;(3)测试制绒/刻蚀废液中各组分的浓度,根据晶体硅制绒/刻蚀所需的化学配比,补充加入各组分,使制绒/刻蚀溶液能够重复利用。该方法能够将制绒/刻蚀废液重新回收利用,大大降低了氟排放以及氮氧化物排放,具有巨大的经济性和环保性,具有较大的推广应用价值。