简介： 本发明提供了一种冗余图形添加优化的算法，包括：查找出版图图形的正向异常的区域和负向异常的区域；对正向异常的区域的图形进行正向异常区域的冗余图形的优化和负向异常的区域的图形进行负向异常区域的冗余图形的优化；化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌；若预测的表面形貌达到设定值，则对版图中添加的冗余图形优化成功。本发明优化了已有冗余图形，并且将化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌作为添加的冗余图形的反馈手段，可以对不同产品间各层次的版图局部图形分布的均匀性进行优化，进而提高冗余图形添加的优化效果，提高工艺加工后各层次表面形貌的均匀性，降低后续制造工艺的工艺缺陷。