简介： 本发明公开了一种有机蒸镀源陶瓷坩埚洗净再生方法，包括以下步骤：步骤10、受入检查；步骤20、化学清洗；步骤30、预干燥；步骤40、高温烘烤；步骤50、纯水浸泡；步骤60、烘干。本发明采用化学液洗+高温烘烤方式去除有机蒸镀源陶瓷坩埚内部残余膜质，可保证清洗效果。