简介： 本发明公开一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试；S7、超声波震荡清洗；S8、工件表面PH测试；S9、CDA吹干；S10、超声波震荡清洗；S11、加热干燥；S12、自然冷却。