简介： 本发明公开了一种碲镉汞钝化膜层工艺参数确定方法及装置，所述方法包括：分别将膜层沉积系统的各工艺参数作为唯一变量，在衬底溅射一层或多层化学膜层；对所述化学膜层进行折射率测试，获取所述化学膜层的折射率随各工艺参数的变化曲线，并根据所述变化曲线获取所述化学膜层的折射率最大点对应的各个工艺参数的数值；将所述数值作为膜层沉积系统沉积所述化学膜层时的工艺参数。