简介： 本发明公开了一种制作工艺系统与清洗方法。制作工艺系统包括生产机台、浓度测定装置以及补偿装置;生产机台,适于使用化学溶液处理晶圆;浓度测定装置,用以测定处理过上述晶圆的上述化学溶液中至少一关键成分的浓度;补偿装置,用以在上述浓度测定装置所测定的上述关键成分的浓度低于一定值时,提供具有一补偿量的补充液至上述生产机台中,其中上述补充液含有与上述关键成分相同的成分。