简介： 本发明 涉及化学汽相沉积技 术领域，特别是涉及用 化学沉积法合成超硬 度的晶态C3N4材料及 其方法，本发明的目的 在于制备一种理论预 测到的新超硬晶态α 和β相氮化碳材料，和 提供一种用偏压辅助 热丝化学气相沉积法 生长晶态C3N4材料的 方法，该方法工艺简单， 易于掌握扩大工业生产。