简介:
本发明涉及一种多元氧化物陶瓷湿敏元件。本 发明是将脱水酸酐ZrO2.SiO2、Nb2O5和P2O5在空 气中高温烧结而成。控制组分化学比的偏离和掺杂 浓度,能够改变元件的温敏特征。本发明制作的湿敏 元件在低湿度下阻抗低,适用范围广,响应时间短,能 提供多种信息。元件结构和制作工艺简单,无旁热装 置和钢丝网外壳,成本低,成品率高。这种元件可测 量大气湿度,也能测定某点湿度,广泛应用于湿度测 量、控制和管理的技术领域。
本发明涉及一种多元氧化物陶瓷湿敏元件。本 发明是将脱水酸酐ZrO2.SiO2、Nb2O5和P2O5在空 气中高温烧结而成。控制组分化学比的偏离和掺杂 浓度,能够改变元件的温敏特征。本发明制作的湿敏 元件在低湿度下阻抗低,适用范围广,响应时间短,能 提供多种信息。元件结构和制作工艺简单,无旁热装 置和钢丝网外壳,成本低,成品率高。这种元件可测 量大气湿度,也能测定某点湿度,广泛应用于湿度测 量、控制和管理的技术领域。