简介： 一种传感器，包括微制造芯片，表面上形成有一个或多个腔，所述腔包括感测元件，一个或多个盖子，每个盖子覆盖所述表面以封闭所述腔中的至少一个，所述盖子接触在所述表面上界定所述腔的边缘。电路部分每个连接相应的一个盖子，以允许盖子响应于暴露于电化学溶液部分地电化学溶解。此外，掩蔽材料部分在边缘的水平处覆盖盖子的外围区域以便在操作中密封盖子并保护这些外围区域免受所述电化学溶液的影响。可以提供相关的装置和感测方法。