简介： 本发明公开了一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型，包括数据采集及预处理模块，用于通过传感器采集与硅棒生长速率相关的数据，并对采集的数据进行数据清洗；数据集筛选模块，用于对数据采集模块经过数据采集、数据清洗后的数据集进行筛选，得到训练集和测试集；训练和评估模块，用于对梯度提升决策树模型进行训练，利用平均相对误差以及合格率对模型进行评估，待预测模块，用于输入待预测特征向量；预测结果模块，用于将所述的待预测特征向量输入到预测模型中，输出预测结果。本发明摒弃了传统的理论研究中复杂化学反应对生长速率的影响，不用考虑繁复的化学反应，实现了对多晶硅生长速率的预估，为提高生产效率，缩短生产周期提供指导。