气体传感器的传感器元件及其制造方法
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气体传感器的传感器元件及其制造方法
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简介: 本发明涉及气体传感器的传感器元件及其制造方法。说明了用于测定测量气体的至少一种物理性能的,尤其是测量气体中气体成分浓度的气体传感器的传感器元件,它具有至少一个带有两个电极(18,20)的电化学测量单元(15,16,17)和位于它们之间的固体电解质材料。为了避免在传感器元件结构较小时流出或流向至少一个测量单元(15.16)的泄漏电流,固体电解质材料(19)电绝缘地设置在陶瓷的载体薄膜(11)里,其中载体薄膜(11)本身由电绝缘材料,如铝氧化物组成。
本发明涉及气体传感器的传感器元件及其制造方法。说明了用于测定测量气体的至少一种物理性能的,尤其是测量气体中气体成分浓度的气体传感器的传感器元件,它具有至少一个带有两个电极(18,20)的电化学测量单元(15,16,17)和位于它们之间的固体电解质材料。为了避免在传感器元件结构较小时流出或流向至少一个测量单元(15.16)的泄漏电流,固体电解质材料(19)电绝缘地设置在陶瓷的载体薄膜(11)里,其中载体薄膜(11)本身由电绝缘材料,如氧化物组成。
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标签:化学分析
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