简介： 本发明涉及气体敏感霍尔设备。本文描述了化学敏感霍尔设备。根据本发明的一个示例，霍尔设备包括衬底和布置在衬底上的化学敏感层。化学敏感层能够与气态或液体流体的原子或分子相互作用。力电极连接到化学敏感层，以用于沿第一方向将传感器电流馈送通过化学敏感层。感测电极连接到化学敏感层，以沿第二方向分接化学敏感层处的霍尔电压。背栅布置在衬底上或集成在衬底中，并且通过隔离层与化学敏感层隔离。