简介： 在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法,该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。通过安装和监测前级管道(26),第一产物母体和第二产物母体只有在合适的时间和位置处才能与其它化学药品和反应气体混合。还有,提供了独立和专用的腔室出口(17、29)、隔离阀(24、34)、排气前级管道(22、36)和排气泵(20、30),它们在需要时用于驱动特定气体。