简介： 本发明涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对EPI、PLOY或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器,它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室,初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置,二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置,壳体顶端装有进气口,进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部,填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口,排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本发明结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低,废气净化效率高,废气处理效果好,设备检修方便,维护停机时间短,设备正常运行时间长,工艺稳定性好,安全可靠。