简介： 一种中子掺杂晶体热处理工艺方法,它包括下述步骤:1)中子掺杂后的晶体的清洗,清洗包括:纯水清洗和与混酸的化学反应以及之后的清洗;混酸中硝酸与氢氟酸的体积比范围为8∶1到3∶1;2)在热处理前,在样片的两端放置隔离物,随后进行热处理;3)将以上晶体按照一定的加热过程进行热处理;4)热处理过程结束后,对晶体进行表面喷砂处理或研磨处理后检验从而验证该工艺方法的效果。本发明的优点是处理工艺简便,效果好,可提高热处理后晶体的少子寿命。