金属和晶体气密性封装的光窗结构制造方法
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金属和晶体气密性封装的光窗结构制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种金属和晶体气密性封装的光窗结构制造方法,其制造方法包括:(1)具有腔体的金属成型件:除油清洗、镀镍、烘干;(2)晶体镜片局部处理:掩膜、化学法腐蚀粗化、粗化部位极化、化学镀镍、电镀锡、烘干、切割分片;(3)夹具:按照零件尺寸精度加工夹具;(4)封接:将金属成型件和晶体镜片放置在夹具上,在烧结炉中250‑300摄氏度烘烤15‑20分钟形成成品。(5)测试:测试成品的结合强度、气密性。本发明采用了将晶体镜片局部掩膜、腐蚀粗化、电镀的方法形成金属过渡层,然后通过低温锡焊的方法,将晶体光窗和金属成型件之管帽或腔体熔焊的方法来达到气密性封接。从而有效避免了因材料膨胀系数匹配问题带来的诸多技术难点。
本发明公开了一种金属和晶体气密性封装的光窗结构制造方法,其制造方法包括:(1)具有腔体的金属成型件:除油清洗、镀、烘干;(2)晶体镜片局部处理:掩膜、化学法腐蚀粗化、粗化部位极化、化学镀镍、电镀、烘干、切割分片;(3)夹具:按照零件尺寸精度加工夹具;(4)封接:将金属成型件和晶体镜片放置在夹具上,在烧结炉中250‑300摄氏度烘烤15‑20分钟形成成品。(5)测试:测试成品的结合强度、气密性。本发明采用了将晶体镜片局部掩膜、腐蚀粗化、电镀的方法形成金属过渡层,然后通过低温锡焊的方法,将晶体光窗和金属成型件之管帽或腔体熔焊的方法来达到气密性封接。从而有效避免了因材料膨胀系数匹配问题带来的诸多技术难点。
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标签:化学分析
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