简介： 本发明实施例提供了一种数据处理方法，利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的含量。