半导体装置的制造方法、半导体装置的制造装置及其控制方法和控制装置,以及半导体装置的制造工艺的模拟方法和模拟装置
半导体装置的制造方法、半导体装置的制造装置及其控制方法和控制装置,以及半导体装置的制造工艺的模拟方法和模拟装置
来源：北方有色网
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简介：
根据预先设定好的初始设定开始利用热化学反应的半导体装置的制造工艺,测定参与热化学反应的气氛的状态量,根据由该测定所获得的测定数据,解析气氛的状态及其变化,把由该解析得到的解析数据反馈给制造工艺。
根据预先设定好的初始设定开始利用热化学反应的半导体装置的制造工艺,测定参与热化学反应的气氛的状态量,根据由该测定所获得的测定数据,解析气氛的状态及其变化,把由该解析得到的解析数据反馈给制造工艺。
标签：化学分析
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