简介： 本文提供半导体制程的系统和方法，其中基于化学混合物的感测性质来自动控制含于水槽中的化学混合物中的化学物的量或浓度。在一些实施例中，半导体制程系统包括经配置以包含化学混合物的处理水槽。化学感测器经配置以感测化学混合物的一或更多性质。系统进一步包括电控阀，此电控阀经配置以基于化学混合物的所感测的一或更多个性质来调整第一化学物在化学混合物中的量。