微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片
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微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片
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简介: 本实用新型属于光学传感检测技术领域,具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片。本实用新型光学传感芯片包括:两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管;两块平面反射镜上、下平行放置,两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边,保证两块反射镜保持高度平行;中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间,两端与平面反射镜之间粘合固定,形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片;平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本实用新型基于微泡的透镜效应,使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性,同时集成天然的微流通道,实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。
本实用新型属于光学传感检测技术领域,具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片。本实用新型光学传感芯片包括:两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管;两块平面反射镜上、下平行放置,两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边,保证两块反射镜保持高度平行;中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间,两端与平面反射镜之间粘合固定,形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片;平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本实用新型基于微泡的透镜效应,使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性,同时集成天然的微流通道,实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。
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标签:化学分析
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