简介： 本发明公开了一种基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜，属于薄膜技术领域，包括以下步骤：(1)选取紫外级熔石英(JGS1)作为基底；(2)基底清洗；(3)真空蒸发镀膜法镀第一层膜；(4)纳米刻蚀法优化第一层膜；(5)真空蒸发镀膜法镀第二层膜；(6)纳米刻蚀法优化第二层膜；(7)真空蒸发镀膜法镀第三层膜；(8)纳米刻蚀法优化第三层膜；(9)冷却后检验包装。本发明的日盲紫外增透膜选取适合紫外波段的氟化物，在真空蒸发镀膜法的基础上结合纳米刻蚀法，减小膜面缺陷密度，适合依赖整个紫外波段的探测器，具有优良的化学稳定性。