简介： 本发明提供了一种研磨头清洗装置，包括：若干个清洗支路，每个所述清洗支路包括：喷雾单元、管道、自动阀门、传感器、控制单元和清洗液供应单元，所述传感器检测到所述研磨头的侧面是否存有附着物，向所述控制单元输出反馈信号，基于所述反馈信号，所述控制单元控制所述自动阀门开启或闭合，以控制所述喷雾单元启动与停止。所述喷雾单元启动时，所述喷雾单元向所述研磨头的侧面喷射清洗液。清洗液对所述附着物产生物理化学作用，使得所述附着物从所述研磨头的侧面掉落。避免在研磨头在上下料期间或其自身运动时，所述附着物掉落在研磨垫上，继而在所述晶圆上造成划痕或附着颗粒，最终影响晶圆制品的成品率。