简介： 本发明公开了一种微流控与等离子体技术耦合制备表面增强拉曼基底的装置及方法，属于拉曼光谱检测领域。本装置包括氩气钢瓶、质量流量控制计、注射泵、微流控芯片、导电玻璃板、等离子体电源和镇流器。该方法以贵金属离子溶液为前驱体，氩气为等离子体气体，通过耦合微流控和大气压介质阻挡放电技术实现了颗粒均一的贵金属及其合金纳米颗粒的制备，随后将纳米颗粒沉积到硅片表面，可得到纳米颗粒呈均匀单层排列的表面拉曼增强基底。该方法简单高效、绿色安全、不引入其它化学试剂，且得到的表面拉曼基底灵敏度强、重复性高。