微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱
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微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱,在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构,这种微沟道具有均匀的“准零流速区”,可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀,获得对称度较高的色谱峰,从而更加适合精确定性定量检测;采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀,可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道,无需采用光刻、DRIE及键合工艺,制备工艺步骤简单,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更适合批量生产。
本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱,在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构,这种微沟道具有均匀的“准零流速区”,可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀,获得对称度较高的色谱峰,从而更加适合精确定性定量检测;采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀,可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道,无需采用光刻、DRIE及键合工艺,制备工艺步骤简单,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更适合批量生产。
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标签:化学分析
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