简介： 本公开提供一种影像处理系统及其方法。该系统具有一影像撷取单元以及一影像处理单元。该影像撷取单元包括一相机、一光源以及一晶圆传输平台。该相机撷取一晶圆标记的影像。该光源是一可变光源，能够投射经过在该晶圆标记上的多个化学残留物，其中该相机通过该可变光源撷取该晶圆标记的该区域的多个影像。该影像处理单元具有一影像处理器以及一物件配对子系统。该影像处理器经配置以执行该影像处理器的多个计算，以产生一输出结果。该物件配对子系统具有一物件配对单元以及一存储器单元。该物件配对单元具有一人工智能统计模型，用以辨识该晶圆标记的每一字元。该存储器单元存储该物件配对单元检测在每一影像中的该晶圆标记的每一字元的一组几率。