简介： 本发明公开了一种湿制程制作镍合金精密零部件的方法，包括以下步骤，S1：基板研磨、S2：贴膜、S3：曝光、S4：显影、S5：微合金沉积、S6：脱模和超声波清洗、S7：检测组装；从半导体湿制程蚀刻工艺反相创新，结合干膜等湿制程以及MEMS镍合金化学增材技术，通过曝光，显影、微电铸等复杂工艺来生产具有复杂图形的高精密零部件；本发明可以快速、低成本获得具有复杂图形、尺寸精密的二维或三维金属零部件，在钟表机械零件、微电子、航空航天、传感器等领域应用很广，具有巨大的市场需求。