用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法
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用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及湿电子化学品技术领域,且公开了一种用于TFT‑LCD显示屏用ITO蚀刻液,包括以下按重量百分比计的组分:硫酸10%‑20%,添加剂1%‑5%,表面活性剂0.05%‑0.5%,消泡剂0.01%‑0.1%,余量水,所述添加剂为无机盐和有机物的混合物;本发明所公开的蚀刻液以硫酸为主要成分,生产工艺简单,酸浓度易于控制及在线检测;增加了表面活性剂具有表面张力低、无浊点、湿润力强,有效降低ITO蚀刻液的表面张力,蚀刻过程中速率适中;消泡剂能消除蚀刻过程中表面活性剂产生的泡沫,满足ITO膜蚀刻高精度加工要求,对光阻无破坏作用,对蚀刻线条保护好,图形完整;同时采用的无机盐可以调控蚀刻后ITO斜面坡度,以更好满足客户需求。
本发明涉及湿电子化学品技术领域,且公开了一种用于TFT‑LCD显示屏用ITO蚀刻液,包括以下按重量百分比计的组分:硫酸10%‑20%,添加剂1%‑5%,表面活性剂0.05%‑0.5%,消泡剂0.01%‑0.1%,余量水,所述添加剂为无机盐和有机物的混合物;本发明所公开的蚀刻液以硫酸为主要成分,生产工艺简单,酸浓度易于控制及在线检测;增加了表面活性剂具有表面张力低、无浊点、湿润力强,有效降低ITO蚀刻液的表面张力,蚀刻过程中速率适中;消泡剂能消除蚀刻过程中表面活性剂产生的泡沫,满足ITO膜蚀刻高精度加工要求,对光阻无破坏作用,对蚀刻线条保护好,图形完整;同时采用的无机盐可以调控蚀刻后ITO斜面坡度,以更好满足客户需求。
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标签:化学分析
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