简介： 本发明公开了一种电子级氨水制备用装置及其制备工艺，属于电子级化学品技术领域。该装置包括按气体流动方向依次连通的纯化机构、调制检测机构和制取机构，还包括连通于冷却反应釜底端处的出液循环管路，该装置在纯化机构若干第一进水管上安装的第一冷却器能将进入洗涤塔的超纯水冷却至5‑10℃，在吸收塔底设置的冷却反应釜能将经吸收形成的电子级氨水初品冷却并保温在15‑20℃，同时在回流浓度不合格氨水循环段上设置的第二冷却器能将重新进入吸收塔的不合格电子级氨水冷却至5‑10℃，上述装置和工艺能够有效降低因温度过高导致杂气或氨气重新挥发引起的成品纯度不够或浓度不足的情况。