简介： 本发明涉及一种基于电子动态调控的表面增强拉曼(SERS)的基底制造方法，属于拉曼光谱分子检测技术领域。包括以下步骤：(1)在空气中，利用单脉冲飞秒激光在硅基底上制备大面积、一致性的周期性波纹结构；(2)在水溶液中，利用90度偏振的双脉冲飞秒激光进行二次加工，制备出纳米棒阵列结构；(3)利用电子束蒸发法在纳米棒阵列基底上镀一层纳米厚度的金属膜；(4)将镀上金属膜的纳米棒阵列基底放入马沸炉中进行热处理。热处理后，大量均匀的金属纳米颗粒覆盖在纳米棒阵列基底上。对比现有技术，本发明提供的制造SERS活性基底的方法，具有很好的灵敏度、化学稳定性以及空间均匀性，并且加工成本较低。