简介： 本发明提供一种通过固?固相烧结法制备高纯度YIG(钇铁石榴石，分子式：Y3Fe5O12)铁氧体靶材的方法。该方法主要通过改变反应原材料Fe2O3和Y2O3的配比，来消除YIG铁氧体靶材制备过程中产生的YFeO3杂质。生成YIG化学反应有两个步骤：首先，Fe2O3和Y2O3反应生成YFeO3。然后，YFeO3和Fe2O3继续反应最终生成YIG。通过额外添加原材料Fe2O3的量，按照分子式：5(Y2O3)3(1+x)Fe2O3(x取值0～5％)来配料。将原材料通过配料混合、一次球磨、一次烘干、预烧、二次球磨、二次烘干、造粒过筛、压片成型、高温烧结抽样检测等步骤，得到所需的YIG铁氧体靶材。该方法能明显提高YIG铁氧体靶材的纯度和饱和磁化强度，达到增加旋磁效果、降低磁滞损耗的目的。