简介： MR装置(100)，其包含微型磁共振系统(101)和细胞培养室(502)，用于分析尺寸小于约1000μm的生物样品，其中所述装置(100)至少部分地被钝化结合层(800)覆盖。本发明还涉及用于制造所述装置(100)的方法，其包括在所述系统(101)上沉积薄的钝化结合层(800)的步骤。所述沉积步骤优选地通过选自化学气相沉积和物理气相沉积的沉积过程来进行。